六氟乙硅烷 Si2F6

　　六氟乙硅烷

　　Si2F6

　　1.别名•英文名

　　六氟化二硅;Disilicon hexafluoride、Hexafluorodisilane

　　2.用途

　　含氟非晶硅膜,非晶硅的原料气。

　　3. 制法

　　3SiF4+Si→2Si2F6(高温)

　　Si2Cl6+3ZnF2(无水) →Si2F6 +3ZnCl2

　　4.理化性质

　　分子量:170.16

　　升华温度(101.325kPa): -19.1℃

　　三相点 (103.991kPa):18.7℃

　　液体密度(0℃):5997kg/m3

　　气体密度(0℃):7.76kg/m3

　　临界温度:71℃

　　熔化热(103.991kPa,-18.7℃):95.9598kJ/kg

　　气化热(103.991KPa,-18.7℃):159.993kJ/kg

　　升化热:255.8928kJ/kg

　　蒸气压(-50.2℃):5.706kPa

　　(-24.9℃):65.595KPa

　　(-6.5℃):186.918kPa

　　六氟乙硅烷在常温常压下为具有强刺激臭的元色有毒气体,在空气中不燃烧。在水中水解生成H2,H2SiO4,H2SiO6

　　Si2F6+4H2O→6HF+H2SiO4

　　6HF+ H2SiO4→H2+H2SiF6+H4SiO4

　　+H4SiO4+6HF→4H2O+ H2SiF6

　　在室温，即使与氯混合也不反应,但是当加热时产生激烈反应而生成SiF4、 SiClF3 、SiCl2F2 等。

　　5. 毒性•安全防护

　　当六氟乙硅烷漏到大气中时与水分反应生成硅氟酸和氢氟 酸。因此,可以认为它的毒性和硅氟酸、氢氟酸相同。

　　最高容许浓度:2.5mg/m3

　　探漏方法,一是靠其强烈的刺激臭,二是靠其在空气中水解生成的SiO2白烟。

　　废气直接排大气是危险的,而且是防止大气污染所不允许的。所以,一般用水吸收处理。在用水吸收处理时,水解产生氢气,因此,对氢气需要采取一定的措施。

　　其它参见氟化氢。