二氟硅烷 SiH2F2

　　二氟硅烷

　　SiH3F3

　　1.别名英文名

　　二氟二氢硅;Difluorosilane.

　　2.用途

　　含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。

　　3.理化性质

　　分子量:68.10

　　熔点:-122.0℃

　　沸点(101.325kPa):-77.8℃

　　气体密度:2.35kg/m3

　　熔化热:6.148kJ/kg

　　气化热: 292.092kJ/kg

　　临界温度:34℃

　　蒸气压(-124.3℃):2.666kpa

　　(-98.3℃):26.664kPa

　　(-87.8 ℃ ):53.329kPa

　　比热容(气体,25℃):749.443J/(kg•K)

　　二氟硅烷在常温常压下为具有腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解,但比SiHF3分解速度慢。

　　2SiH2F3→SiH4+SiF4

　　在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。与乙醇、氨和胶反应。

　　参见六氟化二硅。