三氟硅烷 SiHF3

　　三氟硅烷

　　SiHF3

　　1.别名•英文名

　　Trifluorosilane.

　　2.用途

　　含氟非晶硅膜、非晶硅的原料气。

　　3.制法

　　(1)4SiC13+3SnF4→+4SiHF3+3SnC14

　　(2)SiHC13+sbF3→SiHF3+SbCl3{徐徐加温，SbCl5做催化剂}

　　(3)4SiHCl3+3TiF4→4SiHF3+3TiCl4

　　4.理化性质

　　分子量:86.09

　　熔点:-131.4℃

　　沸点(101.325kPa):-95.0℃

　　气体密度:2.97kJ/m3

　　临界温度:34℃

　　比热容(气体,25℃,101.325kPa):735.328J/(kg•K)

　　蒸气压(-132.9℃):2.666kPa

　　(-102.8℃): 53.329kPakPa

　　(-90.9℃): 125.256kPa

　　三氟硅烷在常温常压下为具有强刺激臭的无色气体。在常温缓慢地进行分解。加热时也分解。但是在液氮温度下停止分解。

　　4SiHF3→3SiF4+SiH4

　　4SiHF3→3SiF4+Si+2H2(420℃)

　　在空气中燃烷时发出淡青色火焰(着火温度比SiHCl3高)。

　　12SiHF3+6O2→3SiF4+3SiO2+ 4H2SiF6+2H2SiO3

　　在水或苛性苏打水溶液中水解产生氢气

　　2SiHF3+(x+2)H2O→SiO2.XH2O +H2SiF6+2H2

　　与乙醇反应生成氢气和正硅酸醋Si(OR) 3。与浓硝酸作用生成N02气体。与氨、胶反应生成加合物。

　　5. 毒性•安全防护

　　参见六氟乙硅烷。